等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)術(shu)是利用等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體獲(huo)得高溫熱源的一項技(ji)術(shu)。在化學工業中，利用等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)技(ji)術(shu)能實(shi)現(xian)一系列(lie)的反(fan)應過程。而等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)清洗作為(wei)一種材(cai)料(liao)表面(mian)處理的高科技(ji)設(she)備，目前被廣(guang)泛(fan)應用于材(cai)料(liao)表面(mian)清洗、活化、涂層、刻蝕(shi)等(deng)(deng)方面(mian)，可以幫助(zhu)工程師更(geng)高效的完成工作內容(rong)。

那么等離子清洗的具體原理是什么呢？功率放大器在此領域是如何應用的？

密閉的(de)反應腔(qiang)體（真(zhen)(zhen)空室、真(zhen)(zhen)空腔(qiang)體）被(bei)真(zhen)(zhen)空泵(beng)不斷(duan)抽氣，從1個標準大(da)氣(qi)(qi)壓(ya)下降到設定的壓(ya)力值并維持真(zhen)(zhen)空(kong)度；通入(ru)氬、氫、氮氣(qi)(qi)等工藝氣(qi)(qi)體(ti)，啟(qi)動(dong)等離子(zi)(zi)發生器，讓反(fan)(fan)應腔(qiang)體(ti)內電極之間產(chan)生高(gao)壓(ya)交變電場，使得自由電子(zi)(zi)能(neng)量(liang)加速，去激發工藝氣(qi)(qi)體(ti)分子(zi)(zi)形成(cheng)等離子(zi)(zi)體(ti)，具有(you)高(gao)反(fan)(fan)應活性(xing)或高(gao)能(neng)量(liang)的等離子(zi)(zi)體(ti)，會與有(you)機污(wu)染物及微(wei)顆粒污(wu)染物反(fan)(fan)應、碰撞(zhuang)形成(cheng)各種揮發性(xing)物質，這些揮發性(xing)物質伴(ban)隨工藝氣(qi)(qi)流(liu)由真(zhen)(zhen)空(kong)泵抽取出去，從而達(da)到被(bei)處(chu)理對(dui)象表(biao)面(mian)清潔、活化等目(mu)的。

等(deng)離子清(qing)(qing)洗(xi)是(shi)利用等(deng)離子將(jiang)附著(zhu)在基板表面的(de)油(you)等(deng)有機物分解、汽化的(de)清(qing)(qing)洗(xi)技術。除(chu)了是(shi)一種不使用水或(huo)清(qing)(qing)潔溶液的(de)干燥清(qing)(qing)潔方法外，它還提供高水平的(de)清(qing)(qing)潔，不會(hui)留下(xia)任(ren)何殘留物。

等離子清洗還可以(yi)通過破壞(huai)分(fen)子鍵并用羥基(ji)修飾來使被處(chu)理物體表面親水(shui)。在(zai)半(ban)導體制造過程中，它還用于為圖案化的(de) PDMS（二(er)甲基聚硅氧烷）表面增加親水性，以提高圖案(an)附著(zhu)力。

等離(li)子清洗(xi)的具體優(you)勢

等離子清洗技術具有很多(duo)優(you)勢，首先它十分環保，此(ci)技術利用氣固相干式反應，無化學添加，不消耗(hao)水(shui)資源；其(qi)次，它應用范(fan)圍廣，無論是金屬、半導體、氧化物還是高分子材(cai)料(liao)都可(ke)以進(jin)行處理；同時它功能強大(da)，可(ke)以在處理材(cai)料(liao)時保(bao)留其(qi)自身特(te)性(xing)并賦予新(xin)功能；最后(hou)的最后(hou)它成本低廉且全(quan)過(guo)程可(ke)控，可(ke)以幫助企業更好進(jin)行清洗加工(gong)工(gong)作。

針對等(deng)離(li)子清洗相關的驅動問題，Aigtek安泰電子特提供了信號發生器（ATG-2000系列功率信號源）+高壓放大器（ATA-7025）的測(ce)試方(fang)案。

ATA-7025高壓放大器(qi)

高壓放大器和(he)(he)信號(hao)(hao)發生(sheng)器都(dou)需要(yao)具有高(gao)性(xing)能和(he)(he)高(gao)品質(zhi)的(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)波(bo)形(xing)：一(yi)方面是良好(hao)的(de)(de)穩定性(xing)能，輸(shu)出(chu)(chu)波(bo)形(xing)失真小，并(bing)且(qie)信號(hao)(hao)發生(sheng)器還(huan)需要(yao)能產生(sheng)多種波(bo)形(xing)信號(hao)(hao)；另一(yi)方面是良好(hao)的(de)(de)動態性(xing)能，調(diao)幅調(diao)頻方便(bian)，負(fu)載適應性(xing)好(hao)，此(ci)外(wai)有些(xie)測試(shi)除(chu)了需要(yao)信號(hao)(hao)發生(sheng)器提(ti)供輸(shu)出(chu)(chu)電(dian)壓(ya)外(wai)，還(huan)需要(yao)功(gong)率輸(shu)出(chu)(chu)。

ATA-7025高(gao)壓放大器是(shi)Aigtek公(gong)司生產(chan)交直流高(gao)壓電(dian)(dian)源產(chan)品，電(dian)(dian)壓可達5kVp-p（±2.5kVp），，同時具有(you)過流(liu)、過溫保護功能(neng)。適(shi)用于驅動(dong)高壓型(xing)負載，可放大交(jiao)、直流(liu)信號，輸(shu)出電流(liu)30mA，電壓增益(yi)數控0~1000倍可調，結合液晶(jing)面板增益的顯示，能(neng)夠(gou)快速(su)調整至(zhi)需要的電壓(ya)值，一鍵保存常用(yong)(yong)設置，可與(yu)任(ren)意品牌信號發生器(qi)配套使用(yong)(yong)，實現(xian)任(ren)意波形信號的完美放大。

1/1000Monitor：此端口(kou)電壓為輸出(chu)端口(kou)的(de)1/1000，監(jian)測(ce)口(kou)為BNC接(jie)頭，可以直接(jie)連接(jie)到(dao)示波(bo)器進(jin)行(xing)輸出(chu)電壓的(de)實時監(jian)測(ce)。

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