MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數發生改變，從而實時改變光柵的工作性能，基于其獨特的優勢，MEMS光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。功率放大器ATA-4012具有較高的電壓輸出、高頻率響應，大范圍驅動容性負載能力等優點，完全能夠滿足驅動MEMS光柵測試的需求。

靜電驅(qu)動(dong)的(de)(de)能量密度較小，當結構(gou)(gou)需要(yao)比(bi)較大(da)(da)的(de)(de)工作位移(yi)，就必須增(zeng)大(da)(da)驅(qu)動(dong)電壓(ya)，驅(qu)動(dong)電壓(ya)甚(shen)至(zhi)達(da)到上百伏，當結構(gou)(gou)受靜電力作用，由于機械結構(gou)(gou)特有(you)的(de)(de)慣性而(er)產生彈性震蕩，增(zeng)大(da)(da)系統延遲。實際工作時，光(guang)柵(zha)等(deng)效(xiao)電容會隨光(guang)柵(zha)梁位移(yi)的(de)(de)改變而(er)變化(hua)，導致驅(qu)動(dong)電路(lu)容性負載的(de)(de)變化(hua)。

MEMS光柵采用表面硅微加工工藝，通過加載驅動電壓，每一個光柵梁單元都可以在靜電力作用下通過引線連接實現編程控制，改變驅動電壓就可以控制光柵梁的運動位移。ATA-4012功率放大器輸出電壓160Vpp（±80V），頻率響應DC-1MHz范圍內，功率160W，可驅動高壓功率型負載。

功(gong)率(lv)放大器產品(pin)的功(gong)能特點及優(you)勢：

最大輸出電壓160Vp-p(±80V)

最大輸出(chu)電(dian)流2Arms

帶寬（-3dB）DC~1MHz

壓擺率(lv)500V/μs

電(dian)壓增益(yi)數控可(ke)調

一鍵保存常(chang)用(yong)設(she)置

可(ke)與(yu)主流的信號發(fa)生器配套使用

輸入為BNC接口，輸入電阻50Ω、5kΩ兩檔可選，完美匹配高低內阻信號源。

輸(shu)出為(wei)香蕉插(cha)座，最大輸(shu)出電(dian)壓160Vp-p(±80V)，輸出電流2Arms。

電壓增益(yi)數控0~50倍可調，具體分為粗調（1step）和細調（0.1 step）兩種。結合液晶面板增益的顯示，能夠快速調整至需要的電壓值。

操作面板液(ye)晶顯示，設備狀態及參數動(dong)態顯示，交互界面一目了然，簡潔易懂。

1/100 Monitor：此端口電(dian)壓(ya)為(wei)輸出端口的1/100，監(jian)測口為(wei)BNC接頭，可以直接連(lian)接到示波(bo)器進行(xing)輸出電(dian)壓(ya)的實時監(jian)測。

MEMS光柵測(ce)試(shi)是(shi)采用信號(hao)發生器對其動(dong)態性能(neng)進(jin)行測試(shi)，陶瓷電容(rong)代(dai)替(ti)光(guang)柵(zha)(zha)作為負載，MEMS光(guang)柵(zha)(zha)具(ju)有多種驅(qu)動(dong)方(fang)式，而靜電驅(qu)動(dong)的MEMS光(guang)柵(zha)(zha)，由于(yu)其工藝易于(yu)實現、耗能(neng)低、頻率響(xiang)應高，因(yin)此是(shi)最常用的驅(qu)動(dong)方(fang)式。

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