微機電系統（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機電系統其內部結構一般在微米甚至納米量級。微機電系統是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。同樣，它也是功率放大器的應用領域之一，今天Aigtek安泰電子就和大家聊聊關(guan)于(yu)它(ta)的那些事。

　　MEMS是(shi)一個獨立的智(zhi)能系統(tong)，可大(da)批量(liang)生(sheng)產，其系統(tong)尺寸在幾毫米(mi)乃至(zhi)更小，其內(nei)部結(jie)構一般在微米(mi)甚至(zhi)納米(mi)量(liang)級。例(li)如，常見的MEMS產品(pin)尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至(zhi)更小。

　　一(yi)個MEMS傳感器(qi)里面最重要的芯(xin)片為(wei)(wei)MEMS芯(xin)片和ASIC芯(xin)片，其中MEMS芯(xin)片負(fu)責(ze)(ze)感知信(xin)(xin)號(hao)(hao)，將測量量轉(zhuan)化為(wei)(wei)電(dian)阻(zu)、電(dian)容(rong)等信(xin)(xin)號(hao)(hao)變化；ASIC芯(xin)片負(fu)責(ze)(ze)將電(dian)容(rong)、電(dian)阻(zu)等信(xin)(xin)號(hao)(hao)轉(zhuan)換(huan)為(wei)(wei)電(dian)信(xin)(xin)號(hao)(hao)，其中涉及到(dao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)的轉(zhuan)換(huan)和放大等功能(neng)。

　　與傳(chuan)(chuan)統的(de)(de)機(ji)械(xie)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)相比，MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)具有體積小、重量(liang)輕、成本低(di)、功耗低(di)、可靠性高(gao)、適于(yu)批量(liang)化生產、易(yi)于(yu)集成和實(shi)現智能化等(deng)特點(dian)。在微米(mi)量(liang)級的(de)(de)特征尺(chi)寸(cun)MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可以完成某些(xie)傳(chuan)(chuan)統機(ji)械(xie)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)所不能實(shi)現的(de)(de)功能。因此，MEMS傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)正逐步取代傳(chuan)(chuan)統機(ji)械(xie)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)主導地位，在消費電子產品、汽車(che)工業、航空航天、機(ji)械(xie)、化工及醫藥等(deng)領域得到廣(guang)泛的(de)(de)應用。

　　MEMS傳感器應用領(ling)域

　　MEMS傳(chuan)感(gan)器種類(lei)極多，可應用于物(wu)理、化學、生物(wu)等領(ling)域信號(hao)的(de)(de)探測，較為常(chang)見的(de)(de)種類(lei)有加速(su)度傳(chuan)感(gan)器、慣性傳(chuan)感(gan)器、壓力(li)傳(chuan)感(gan)器、MEMS陀螺儀(yi)以(yi)及MEMS麥(mai)克風等。目前MEMS傳(chuan)感(gan)器在消(xiao)費電(dian)子、醫療、汽車電(dian)子以(yi)及工(gong)業等應用領(ling)域占比最高(gao)。

　　對(dui)于(yu)大多(duo)數(shu)MEMS傳(chuan)感器(qi)和執行(xing)器(qi)來(lai)說，能(neng)夠使其(qi)(qi)正常使用和發揮其(qi)(qi)功能(neng)性，主要是通過內部(bu)可動微(wei)(wei)結構(gou)在允(yun)許的(de)(de)范圍內進(jin)行(xing)一定變形和位移來(lai)實現(xian)的(de)(de)，因而對(dui)MEMS微(wei)(wei)結構(gou)進(jin)行(xing)模(mo)態測試就必須(xu)使其(qi)(qi)處于(yu)振(zhen)動的(de)(de)狀態，也就是對(dui)其(qi)(qi)進(jin)行(xing)激(ji)勵(li)(li)(li)。理想的(de)(de)MEMS微(wei)(wei)結構(gou)激(ji)勵(li)(li)(li)方法應(ying)該(gai)具有(you)三個特點：一是非(fei)接觸性；二是非(fei)破壞性；三是較大的(de)(de)激(ji)振(zhen)帶寬。MEMS測試的(de)(de)激(ji)勵(li)(li)(li)方法主要包(bao)括有(you)靜電激(ji)勵(li)(li)(li)、磁激(ji)勵(li)(li)(li)、熱激(ji)勵(li)(li)(li)、壓電激(ji)勵(li)(li)(li)、聲(sheng)激(ji)勵(li)(li)(li)和基(ji)于(yu)壓電陶瓷的(de)(de)底座激(ji)勵(li)(li)(li)。

　　在(zai)這(zhe)些激勵(li)方法(fa)中，選擇(ze)合適的(de)(de)激勵(li)裝置(zhi)尤為(wei)重(zhong)要(yao)，Aigtek超聲功(gong)率放大(da)(da)器(qi)最(zui)大(da)(da)輸(shu)(shu)出(chu)電壓20kVp-p（±10kVp）,最(zui)大(da)(da)輸(shu)(shu)出(chu)功(gong)率6500VA，最(zui)大(da)(da)輸(shu)(shu)出(chu)電流18Ap，帶寬（-3dB）高(gao)達DC~22MHz，電壓增益(yi)數控可調。滿足不同(tong)壓激勵(li)指標的(de)(de)需求。它還(huan)被廣泛(fan)應用在(zai)細胞(bao)微粒分選，電場粒子(zi)偏轉(zhuan)，無線電能傳輸(shu)(shu)等研究領(ling)域。

　　ATA-2042高壓放大器

　　帶(dai)寬：（-3dB）DC~500kHz

　　電壓：400Vp-p（±200Vp）

　　電流：100mAp

　　功率：20Wp

　　壓擺(bai)率(lv)：≥445V/μs

　　可程控

　　輸出電(dian)壓軌三(san)檔可調(diao)

　　直流偏置連(lian)續可(ke)調

　　MEMS傳感(gan)器是人(ren)工智(zhi)(zhi)能重要(yao)的(de)底層硬件之(zhi)一，傳感(gan)器收集的(de)數據越豐富(fu)和精準，人(ren)工智(zhi)(zhi)能的(de)功能才會越完善。未(wei)來(lai)，智(zhi)(zhi)能家居、工業互聯網、車聯網、智(zhi)(zhi)能城市(shi)、機(ji)器人(ren)等新(xin)產(chan)業領域都將為MEMS傳感(gan)器行業帶來(lai)廣闊的(de)市(shi)場空間(jian)。

西安安泰(tai)電子是專業從事(shi)功率放大(da)器、高(gao)壓(ya)放大器、功率放大器模塊、功率(lv)信號(hao)源(yuan)、射頻(pin)功率放大器、前置(zhi)微小信號放(fang)大器、高精度電壓源(yuan)、高精度電流源等電子測量(liang)儀(yi)器(qi)(qi)研發、生產(chan)和銷售的(de)高科技(ji)企業(ye)，為用戶提供(gong)具有競爭力的(de)測試方(fang)案(an)。Aigtek已經(jing)成為在業(ye)界擁有廣泛產(chan)品線，且具有相當規(gui)模的(de)儀(yi)器(qi)(qi)設備(bei)供(gong)應商，樣(yang)機(ji)都(dou)支持免(mian)費試用。如想了解(jie)更多(duo)功率放大器(qi)(qi)等產(chan)品，請持續關注安泰電子(zi)官網hkdyw.cn或撥打029-88865020。