MEMS突出的優點是利用微電子技術把傳感器、執行器和處理電路這三部分集成在一起，組成單片集成傳感器或系統，更可以實現傳感器芯片的大規模批量制造，已廣泛用于信息、汽車、消費、工控等領域，并成為國際競爭的戰略制高點。那么功率放大器如何為MEMS傳感器測試提供激勵信號呢？今天Aigtek安泰電子就為大家答疑解惑~

　　深究傳感器(qi)和(he)MEMS的(de)(de)發展過程，二十(shi)世(shi)紀六十(shi)年代(dai)(dai)剛出現微加工器(qi)件，七十(shi)年代(dai)(dai)主(zhu)要研究新的(de)(de)技術和(he)擴(kuo)展應用方面(mian)，八(ba)十(shi)年代(dai)(dai)系列(lie)生產更(geng)為復(fu)雜(za)的(de)(de)器(qi)件，九(jiu)十(shi)年代(dai)(dai)是集成敏感系統的(de)(de)發展，2000年以后(hou)無線微系統開始發展。

　　什么是MEMS傳感器(qi)？

　　傳(chuan)感器是(shi)當(dang)今數字(zi)世界(jie)(jie)的(de)重要組(zu)成部(bu)分之(zhi)一。由于所有的(de)計算和處理都是(shi)在數字(zi)信(xin)號上完成的(de)，因此在模擬(ni)世界(jie)(jie)和數字(zi)電子(zi)設備之(zhi)間(jian)應該有一個(ge)媒介。傳(chuan)感器彌(mi)合(he)了這一差(cha)距(ju)，因為它們(men)用于觀察模擬(ni)物理參(can)數的(de)時(shi)間(jian)效(xiao)應并(bing)產生有意(yi)義(yi)的(de)信(xin)息（對(dui)計算機）。

　　傳感(gan)器(qi)(qi)的現代(dai)定義有時(shi)令人困惑，但簡單來說，傳感(gan)器(qi)(qi)是一種包含基本(ben)傳感(gan)元(yuan)件的設備(bei)，這些(xie)元(yuan)件感(gan)測溫度或濕(shi)度等物理量并(bing)將其轉換為電信號。傳感(gan)器(qi)(qi)還由信號處理單元(yuan)（如放大(da)器(qi)(qi)、濾波器(qi)(qi)或ADC）或這些(xie)元(yuan)件的組合組成。

　　不(bu)同類型的MEMS傳感器

　　MEMS技術的主要實施者之一是汽車(che)(che)行業。現(xian)代(dai)汽車(che)(che)使(shi)用(yong)大量傳(chuan)感(gan)器，其中大多(duo)數(shu)是基(ji)于MEMS的設備(bei)。以下是現(xian)代(dai)汽車(che)(che)中使(shi)用(yong)的MEMS傳(chuan)感(gan)器列表。

　　l加速度(du)計–用于電(dian)子(zi)穩(wen)定控制和安全氣囊(nang)展開。

　　l慣性測(ce)(ce)量(liang)單元或IMU（它們(men)是MEMS加(jia)速(su)度計和(he)MEMS陀螺儀(yi)的組合）-用于測(ce)(ce)量(liang)自動駕駛的偏航，俯仰(yang)和(he)滾動。

　　l磁力計–用(yong)于導(dao)航中(zhong)使用(yong)的方向。

　　l壓力和慣性傳(chuan)感器–用于制動(dong)控制。

　　l壓力傳感器–胎壓監(jian)測系統。

　　l氣流傳感(gan)器–進(jin)氣監(jian)測。

　　l燃油傳感器–燃油液位指示器。

　　l碰撞和(he)碰撞傳感器(qi)–碰撞檢(jian)測和(he)安全氣囊展開(kai)。

　　lMEMS麥克風–用(yong)于(yu)通信和降噪。

　　l溫度傳感(gan)器(qi)–用于自動(dong)氣候控制(zhi)和(he)發動(dong)機(ji)溫度監控。

　　l還有許多其他基于(yu)MEMS的器件(jian)適用(yong)于(yu)各種應用(yong)。

　　前(qian)置(zhi)微小(xiao)信號放大器如(ru)何為MEMS傳感(gan)器測試提供激勵信號？

　　確定MEMS傳感(gan)器(qi)的輸入(ru)規格：包括頻率(lv)、功率(lv)、阻抗(kang)等參(can)數。

　　選(xuan)(xuan)擇(ze)合適(shi)的(de)功(gong)率放(fang)大(da)器類型：根據MEMS傳(chuan)感器的(de)需(xu)求(qiu)，選(xuan)(xuan)擇(ze)適(shi)當的(de)功(gong)率放(fang)大(da)器類型，在(zai)MEMS傳(chuan)感器測(ce)試(shi)過程中(zhong)我(wo)們常會(hui)用到ATA-5620前置微小信(xin)號放(fang)大(da)器，來進行信(xin)號的(de)放(fang)大(da)。

　　ATA-5620前置微小信號放大器

　　帶寬：（-3dB）1kHz~100MHz

　　電壓：2Vp-p（50Ω）

　　電壓增益：60dB

　　連接(jie)前置微小信號(hao)放大器和(he)MEMS傳感(gan)器：將(jiang)功率放大器的(de)輸出端(duan)與MEMS傳感(gan)器的(de)輸入端(duan)正確連接(jie)。

　　調整功率(lv)放大器的(de)參數(shu)：根據MEMS傳感器的(de)需求，調整功率(lv)放大器的(de)增益、輸出(chu)功率(lv)、輸出(chu)阻抗(kang)等參數(shu)，以確保提供適當的(de)激勵信號。

　　進行測試：使(shi)用適當(dang)的測試儀器(qi)和軟件，對MEMS傳感器(qi)進行測試，觀察其響應(ying)和性能(neng)。

西安安泰電子是(shi)專業從事(shi)功率放(fang)大(da)器、高壓放大器、功率放大器模塊、功率信號源、射頻功率放(fang)大器(qi)、前置微小信(xin)號放大(da)器、高(gao)精(jing)度電(dian)壓源、高精度電流源等電子測(ce)量儀器研(yan)發、生(sheng)產(chan)和銷售(shou)的高科技企業，為(wei)用戶提供具有(you)競(jing)爭力的測(ce)試方案。Aigtek已經成(cheng)為(wei)在業界(jie)擁有(you)廣泛(fan)產(chan)品線，且(qie)具有(you)相(xiang)當(dang)規模的儀器設(she)備供應商，樣(yang)機(ji)都支持免費試用。如想了(le)解更多功率放大器等產(chan)品，請持續關注安泰電子官網hkdyw.cn或撥打029-88865020。