MEMS是以微(wei)電(dian)子技(ji)術為基礎(chu)，采(cai)用(yong)硅微(wei)加工技(ji)術、光(guang)刻鑄造成型(xing)(LIGA)和精(jing)密(mi)機(ji)械加工等多種(zhong)微(wei)加工技(ji)術制作的(de)(de)(de)，關(guan)鍵尺寸在亞(ya)微(wei)米至亞(ya)毫米范圍(wei)內的(de)(de)(de)微(wei)傳感器、微(wei)執行器和微(wei)系統的(de)(de)(de)總(zong)稱。其(qi)中MEMS動(dong)態(tai)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)技術(shu)(shu)(shu)，因(yin)其能(neng)夠(gou)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)MEMS三(san)維運(yun)動(dong)，分析(xi)MEMS動(dong)態(tai)特(te)性、材料特(te)性以及機械力學參數等(deng)關鍵數據，已成(cheng)為(wei)MEMS測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)技術(shu)(shu)(shu)的重要組成(cheng)部分。而研究(jiu)如何在MEMS運(yun)動(dong)過程中記錄瞬(shun)間運(yun)動(dong)狀態(tai)，并恢(hui)復MEMS表面的離面運(yun)動(dong)歷程，則(ze)是MEMS動(dong)態(tai)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)技術(shu)(shu)(shu)實現(xian)離面運(yun)動(dong)測(ce)(ce)(ce)量(liang)的關鍵。

MEMS模型

MEMS離(li)面運動(dong)測試系統首先通過頻閃同步信號編輯和控制軟件命令任意波形發生器產生激勵波形、頻閃照明信號和控制信號，激勵信號通過同軸電纜經高壓放大器驅動MEMS運動，頻閃照明信號經頻閃驅動電路實現LED的頻閃照明，控制信號則負責命令和協調CCD攝像機、圖像采集卡和納米定位儀的工作; CCD攝像機捕捉到的物體運動瞬間圖像由圖像采集卡采集并存儲在計算機指定的存儲區內,供后續的數據處理使用。在獲得完整的物體運動圖像之后,系統轉入數據處理階段,主要由圖像數據后續處理軟件完成,最終將得到諸如物體表面某點運動軌跡曲線或某個局部區域的運動狀態圖等實驗結果。

MEMS離面運動測試系統功能框圖

AigtekATA-4000系列高壓功率放大器在MEMS測試領域有著廣泛的應用，其中常被應用在相顯微干涉技術，微型傳感器技術等。ATA-4000系列高壓放大器最大輸出功率452Wp ;，最大輸出電壓310Vp-p（±155Vp） ，最大輸出電流4Arms ，帶寬高達DC~3MHz。

通過以上的介紹，相信您對高壓放大器在頻閃成像技術研究MEMS離面運動中的應用有了(le)一定的了(le)解，如果您想要了(le)解更多(duo)，請持續關注(zhu)安泰電(dian)子官網hkdyw.cn。Aigtek是國內專業從事測量儀器研發、生產和銷售的高科技企業，一直專注于高壓放大器、功率信號源、功率放大器、功率放大器模塊、計量校準源等測試儀器產品的研發與制造。