實驗名稱：變形鏡(jing)驅動(dong)器(qi)應變與鏡(jing)面位移測試實驗

　　測(ce)試設備：變形鏡、高壓放大器(qi)、波面干涉儀、基恩(en)士(shi)激光位(wei)移傳感器(qi)和實時仿真系(xi)統(tong)。

　　圖1：粘接應變花的(de)單電(dian)極變形鏡

　　實驗過程：

　　搭建了橫向壓電變(bian)形鏡(jing)面形和鏡(jing)面位移(yi)測試系統，在開(kai)環狀態下，dSPACE輸(shu)出(chu)信號(hao)參考(kao)信號(hao)ur(t)，經高壓放大(da)(da)器進行(xing)放大(da)(da)，作為(wei)變(bian)形鏡(jing)輸(shu)入(ru)信號(hao)，驅動(dong)變(bian)形鏡(jing)運動(dong)。閉環狀態下，經應(ying)變(bian)放大(da)(da)器放大(da)(da)的(de)(de)應(ying)變(bian)花信號(hao)S(t)與ur(t)進行(xing)比較(jiao)，MATLAB/Simulink的(de)(de)PID控(kong)制器進行(xing)相應(ying)的(de)(de)控(kong)制[133]，輸(shu)出(chu)信號(hao)為(wei)uc(t)。波面干涉(she)儀可(ke)測試變(bian)形鏡(jing)鏡(jing)面的(de)(de)變(bian)形。利用(yong)MATLAB將應(ying)變(bian)數據S(t)帶入(ru)預(yu)測模型進行(xing)計算，與實(shi)測的(de)(de)面形進行(xing)對(dui)比，得到模型的(de)(de)預(yu)測精(jing)度。同時，鏡(jing)面的(de)(de)最大(da)(da)變(bian)形量信號(hao)x(t)通過位移(yi)傳感器由dSPACE采集，可(ke)進行(xing)非線性(xing)誤差校正實(shi)驗。

　　圖2：集成應變反饋層(ceng)的單電(dian)極變形鏡(jing)測(ce)試系統

　　實驗結果：

　　圖3：變形鏡驅動器應變和鏡面(mian)位移測試

　　上(shang)圖是零輸入狀態(tai)下應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)測試結(jie)果。在短時(shi)間(jian)(jian)內應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)每一片的(de)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)均(jun)在±1με內。這種(zhong)波(bo)動主要由放大(da)器中的(de)噪聲(sheng)干(gan)擾所(suo)致，屬(shu)于系統誤差范(fan)圍(wei)。上(shang)圖(b)是電(dian)極(ji)通100V狀態(tai)下得(de)到的(de)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)反饋的(de)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)，測試時(shi)間(jian)(jian)5min。加載階躍信號前后應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)的(de)三(san)片變(bian)(bian)化狀態(tai)一致，應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)平均(jun)值(zhi)分別為(wei)34.20με、35.78με與34.65με，三(san)者之(zhi)間(jian)(jian)誤差最大(da)只有0.58με。這表明應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)每一片反饋的(de)應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)較(jiao)為(wei)均(jun)勻，應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)的(de)粘接位(wei)置(zhi)對(dui)稱性(xing)較(jiao)好。蠕(ru)變(bian)(bian)過程的(de)爬升量較(jiao)小，穩定(ding)后的(de)波(bo)動范(fan)圍(wei)在3με之(zhi)內，體現了應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)花(hua)(hua)的(de)長時(shi)穩定(ding)性(xing)。上(shang)圖(c)是位(wei)移傳(chuan)感器測得(de)的(de)鏡面中心位(wei)置(zhi)的(de)位(wei)移信號，PV值(zhi)約為(wei)2.50μm，且同應(ying)(ying)(ying)(ying)(ying)變(bian)(bian)的(de)變(bian)(bian)化過程一致。

　　電壓(ya)放大器推薦：ATA-7010

　　圖：ATA-7010高壓放大器指標參數

　　本資料由Aigtek安泰電(dian)子整理發布，更(geng)多案例及(ji)產品詳情請持續(xu)(xu)關注(zhu)我們。西安安泰電(dian)子Aigtek已經成(cheng)為在(zai)業界擁有(you)廣泛(fan)產品線，且(qie)具有(you)相當(dang)規模的(de)儀器設備供應商，樣(yang)機都(dou)支持免(mian)費試(shi)用。如想(xiang)了解更(geng)多功率放大器等產品，請持續(xu)(xu)關注(zhu)安泰電(dian)子官網hkdyw.cn或撥打(da)029-88865020。