實驗名稱：低階大行程像差補償器件性能測試

　　測試目的：根據設計方案和研究結(jie)(jie)果制(zhi)備了基于低(di)階像差的3單元單壓電片(pian)變形(xing)鏡作(zuo)為(wei)低(di)階大行(xing)程像差補償器件，搭建實驗系統對其相關性能進行(xing)了測(ce)試，并與(yu)仿真結(jie)(jie)果進行(xing)了對比分(fen)析。

　　測試設備：高壓放大(da)器、哈特曼傳感器、雙(shuang)壓變形鏡、計(ji)算機(ji)等。

　　實驗過程：

　　圖1：變形(xing)鏡影響函(han)數測試(shi)系統結構流程圖

　　圖2：實(shi)驗光路圖

　　哈(ha)特曼波(bo)前(qian)(qian)傳感(gan)器(qi)(qi)自(zi)帶光(guang)源發出的光(guang)束(shu)(shu)經傳感(gan)器(qi)(qi)內準直擴束(shu)(shu)系(xi)統和分光(guang)反射鏡(jing)組合后入(ru)射到變形(xing)鏡(jing)表面(mian)，光(guang)束(shu)(shu)經變形(xing)鏡(jing)反射后，帶有變形(xing)鏡(jing)鏡(jing)面(mian)信息的光(guang)束(shu)(shu)入(ru)射到哈(ha)特曼傳感(gan)器(qi)(qi)內采(cai)集相機(ji)靶(ba)面(mian)上(shang)，由(you)哈(ha)特曼傳感(gan)器(qi)(qi)控制(zhi)計算(suan)機(ji)完成波(bo)前(qian)(qian)復原，完成變形(xing)鏡(jing)面(mian)形(xing)的測試。

　　波前探測裝置為自帶(dai)準直光源、通光孔徑為30mm的哈特曼(man)傳感器(qi)，探測結果和圖像采集(ji)均由波前采集(ji)控(kong)制中心完成(cheng)，驅動(dong)電壓由控(kong)制中心產(chan)生(sheng)電壓信號，經47通路的高壓放(fang)(fang)大器(qi)放(fang)(fang)大輸出。

　　實驗結果：

　　圖3：激光(guang)干涉儀測(ce)初始面形圖

　　從圖(tu)中結果可知，變形(xing)(xing)鏡(jing)全(quan)口徑面(mian)形(xing)(xing)PV大約(yue)為3.35個(ge)波長(chang)，15mm有效口徑內(nei)面(mian)形(xing)(xing)PV大約(yue)為1.12個(ge)波長(chang)，干涉儀測試激光波長(chang)為650nm，有效口徑內(nei)初(chu)始面(mian)形(xing)(xing)PV值為0.73μm。硅鏡(jing)拋光過程和變形(xing)(xing)鏡(jing)粘(zhan)接過程都可能(neng)導致初(chu)始面(mian)形(xing)(xing)的(de)不平整，在閉(bi)環校正(zheng)過程中，變形(xing)(xing)鏡(jing)能(neng)對自身(shen)初(chu)始面(mian)形(xing)(xing)進行校正(zheng)。

　　圖4：哈特曼傳感器測(ce)初始面形(xing)圖

　　用(yong)哈特(te)曼(man)傳感器測量(liang)有(you)效口徑的(de)初始(shi)(shi)面(mian)形(xing)結(jie)果(guo)如(ru)上圖(tu)，初始(shi)(shi)面(mian)形(xing)PV值為0.79μm，與(yu)干涉儀測量(liang)結(jie)果(guo)大致相同(tong)。

　　影響函數(shu)反應了變(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)鏡在驅(qu)動電壓下的(de)(de)表面變(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)能力。影響函數(shu)的(de)(de)面形(xing)(xing)特點(dian)直接(jie)決定了變(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)鏡對(dui)波前畸(ji)變(bian)(bian)(bian)的(de)(de)補(bu)償精度(du)，其幅值(zhi)大小(xiao)也(ye)決定了變(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)鏡的(de)(de)校(xiao)正(zheng)行(xing)程，行(xing)程越(yue)大，變(bian)(bian)(bian)形(xing)(xing)鏡單次(ci)校(xiao)正(zheng)像(xiang)差的(de)(de)能力越(yue)強(qiang)，閉環(huan)校(xiao)正(zheng)速度(du)也(ye)越(yue)快。

　　電壓放大器推(tui)薦(jian)：ATA-7010

　　圖：ATA-7010高壓放大器指標參數

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