實驗名稱：納米壓印執行器實驗研究

　　測試設備：ATA-2082高壓放大器、信(xin)號發生器、激光位移傳感器、控制器等。

　　實驗過程：

　　圖1：實驗平臺

　　搭建了如圖(tu)1所示的(de)實驗(yan)平臺。實驗(yan)過(guo)程：信(xin)號發生器(qi)輸出的(de)激(ji)勵信(xin)號經(jing)過(guo)高壓放大(da)器(qi)放大(da)之(zhi)(zhi)后(hou)傳(chuan)輸至壓電陶(tao)瓷，其中正極信(xin)號分別傳(chuan)輸至兩個壓電陶(tao)瓷片的(de)外側電極，負極信(xin)號均連接(jie)至執行器(qi)梁末端的(de)螺(luo)栓；激(ji)光(guang)位(wei)移傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)及其控制器(qi)是由24V電源供電，通(tong)過(guo)計算機上的(de)控制軟件控制激(ji)光(guang)位(wei)移傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)各項參數；激(ji)光(guang)位(wei)移傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)測(ce)量(liang)(liang)范圍(wei)有限(xian)，在測(ce)量(liang)(liang)之(zhi)(zhi)前要(yao)保證傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)與被測(ce)量(liang)(liang)表(biao)面之(zhi)(zhi)間的(de)距離，被測(ce)量(liang)(liang)表(biao)面的(de)位(wei)移距離要(yao)在傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)測(ce)量(liang)(liang)量(liang)(liang)程范圍(wei)內。

　　實驗結果：

　　圖2：利用激光位移傳(chuan)感器測量測量執行器彎曲方向振動(dong)

　　根(gen)據(ju)(ju)仿真軟件得(de)到的(de)(de)仿真結果(guo)，執行(xing)器(qi)(qi)的(de)(de)共(gong)振頻(pin)(pin)(pin)(pin)率(lv)在40kHz左右(you)，利(li)用信號發生(sheng)器(qi)(qi)產生(sheng)頻(pin)(pin)(pin)(pin)率(lv)在38kHz至(zhi)42kHz范圍內的(de)(de)正(zheng)弦波信號，經高(gao)壓放大(da)器(qi)(qi)放大(da)至(zhi)150V后傳輸至(zhi)壓電陶瓷，利(li)用激(ji)光位移傳感器(qi)(qi)收集(ji)不同頻(pin)(pin)(pin)(pin)率(lv)的(de)(de)正(zheng)弦激(ji)勵信號下執行(xing)器(qi)(qi)尖(jian)端(duan)的(de)(de)位移數(shu)據(ju)(ju)，得(de)到不同頻(pin)(pin)(pin)(pin)率(lv)下執行(xing)器(qi)(qi)尖(jian)端(duan)的(de)(de)振幅，根(gen)據(ju)(ju)所得(de)到的(de)(de)數(shu)據(ju)(ju)確定(ding)執行(xing)器(qi)(qi)的(de)(de)共(gong)振頻(pin)(pin)(pin)(pin)率(lv)以及振幅。

　　高壓(ya)放大器(qi)推(tui)薦(jian)：ATA-2082

　　圖：ATA-2082高壓放大器指標參數

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