隨著MEMS（微(wei)機電系統）技術的發展(zhan)，目前已(yi)經(jing)廣泛涉及醫學、生物(wu)、航天(tian)航空、軍事(shi)等各個領域(yu)，由于各個應用(yong)領域(yu)的工作環境不同，所以對其進行(xing)機(ji)械動態特性的測試和研究不僅僅局限于常態環境中。研究 MEMS 產品的穩定性和可靠性必須考慮不同應用領域的環境因素，如高溫環境、低溫環境、高加速度環境、真空環境、高腐蝕性環境中的一種或者多種，這是 MEMS 器件設計、制作和封裝等技術的關鍵，滿足器件向智能化和集成化發展方向的需求。今天Aigtek安泰電子就帶(dai)你具體了(le)解一(yi)下。     

微(wei)機電系統(tong)示(shi)意圖

對于大多數 MEMS 傳感器和執行器來說，能夠使其正常使用和發揮其功能性，主要(yao)是(shi)通過內部可動微(wei)結構在允許的(de)范圍內進行一定變形和位移來實現的(de)，因而對(dui)MEMS 微結構進行(xing)模(mo)態測試就必須使其處于(yu)振動(dong)的(de)(de)狀態，也就是對其進行(xing)激(ji)(ji)勵(li)。理(li)想(xiang)的(de)(de) MEMS 微結構激(ji)(ji)勵(li)方(fang)法應該具(ju)有(you)三個(ge)特點：一是非(fei)接觸性；二是非(fei)破壞(huai)性；三是較(jiao)大的(de)(de)激(ji)(ji)振帶寬。 MEMS測試的(de)(de)激(ji)(ji)勵(li)方(fang)法主要包括有(you)靜(jing)電(dian)(dian)激(ji)(ji)勵(li)、磁激(ji)(ji)勵(li)、熱激(ji)(ji)勵(li)、壓(ya)電(dian)(dian)激(ji)(ji)勵(li)、聲激(ji)(ji)勵(li)和(he)基于(yu)壓(ya)電(dian)(dian)陶(tao)瓷的(de)(de)底座激(ji)(ji)勵(li)。 在這些激勵方法中，選擇合適的激勵裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達DC~25MHz，電壓增益數控可調。滿足不同壓激勵指標的需求。它還被廣泛應用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉，無線電能傳輸等研究領域。

       通過以上的介紹，相信您對超聲功率放大器在超聲波MEMS測試中的應用有了清晰的了解，如想了解更多應用，請持續關注安泰電子官網hkdyw.cn或撥打029-88865020。Aigtek是國內專業從事測量儀器研發、生產和銷售的高科技企業，一直專注于超聲功率放大器、功率放大器、高壓放大器、功率信號源、功率放大模塊、計量校準源等測試儀器產品的研發與制造。