MEMS（微(wei)機電系統）是在(zai)微(wei)電子技術（半導體制造技術）基礎上(shang)發展(zhan)起來的(de)，融合了光(guang)刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微(wei)加(jia)工(gong)、非硅微(wei)加(jia)工(gong)和精密機械(xie)加(jia)工(gong)等技術制作的(de)高科技電子機械(xie)器件。Aigtek功率放(fang)大器可來驅動各種(zhong)MEMS系統(tong)器(qi)件，常(chang)見的產(chan)品有(you) MEMS 麥克風、微(wei)(wei)馬達、微(wei)(wei)泵、微(wei)(wei)振子、MEMS 光學傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)、MEMS 壓力傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)等等。

MEMS 光柵(zha)應用測試：

MEMS 光(guang)柵(zha)(zha)采用(yong)了硅(gui)微加(jia)工(gong)工(gong)藝(yi)技術，在外力作用(yong)下使光(guang)柵(zha)(zha)的某些特征參數（如(ru)周期(qi)、光(guang)柵(zha)(zha)等常(chang)數）發生改變(bian)，從而實(shi)時改變(bian)光(guang)柵(zha)(zha)的工(gong)作性(xing)能，實(shi)現光(guang)柵(zha)(zha)的可編程應用(yong)。MEMS 光(guang)柵(zha)(zha)具(ju)有多種驅動(dong)方式，而靜電(dian)驅動(dong)的 MEMS 光(guang)柵(zha)(zha)，由于其工(gong)藝(yi)易于實(shi)現、耗能低、頻(pin)率響應高，因此是最常(chang)用(yong)的驅動(dong)方式。

靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作位移（微米級），就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚至達到上百伏。Aigtek功率放大器可輸出200Vpp~1600Vpp 的電壓范圍，40mA~500mA 的電流輸出能力，是可以滿足新型的 MEMS 相關應用的動態驅動測試。MEMS光柵基于其獨特的優勢，MEMS 光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。

ATA-2000 系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為 MEMS 領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為 MEMS 測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應的匹配阻抗。 

ATA-2042功率放大(da)器是Aigtek公司生產的寬頻雙通道高壓電源產品，電壓范圍（0-400Vpp），具有穩定的輸出電壓、電流、雙通道同步輸出等特點，同時具有過流、過溫保護功能。適用于驅動高壓型負載，可放大交、直流信號，輸出電流100mA，電壓增益數控0~60倍可調，液晶屏幕顯示，一鍵保存常用設置，可與任意品牌信號發生器配套使用，實現任意波形信號的完美放大。多精彩內容請持續關注安泰電子hkdyw.cn。